| 姓名： |
陈迪浏览：1815次 |
性 别： |
男 |
| 职务职称： |
正高 |
出生年月： |
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| 最高学历： |
博士 |
所学专业： |
微系统技术 |
| 研究方向： |
LIGA技术,DEM,非硅MEMS标准,非硅MEMS,应用 |
| 服务收费： |
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| 工作履历： |
陈迪，男，教授，副所长，1961年出生，1978年考入中国科技大学，1980年国家公派赴德国留学，1986年和1990年分别获德国汉堡大学化学系硕士和博士学位，1990－1992年在德国MicroParts公司从事MEMS微加工技术的博士后研究工作，自1993年起在上海交通大学先后任副教授、教授和博士生导师，目前任上海交通大学微纳科学技术研究院副院长。先后主持和承担了国防科工委、国家自然科学基金委、国家科技部、教育部、上海市科委、教委、德国西门子公司和美国3M公司的四十余项科研项目。开发出了新型X光掩模板制备工艺和新的非硅三维微加工技术－DEM技术，用微电子机械系统（MEMS）技术开发出各种微流控芯片、植入式生物微电极阵列、MEMS集成探卡、微波定向天线和MEMS惯性开关等，应用于生物医学、信息产业和国防等领域。发表论文一百五十余篇，其中被SCI、EI收入论文九十余篇，论文被引用近600次，申请发明专利30项，其中授权20项，参与撰写专著4本，主持出版《微加工导论》译著1本。“非硅MEMS技术及其应用”获2007年上海市技术发明一等奖，2008年度国家技术发明二等奖；“微流控生化芯片的结构、制造、改性及其应用”获2008年度高等学校科学研究自然科学二等奖。目前其研究领域为非硅MEMS微加工技术、植入式生物微系统、微流控芯片和RF-MEMS等。 |