科技前沿

记者了解到，我国建成首套高精度圆度基准装置，这一标志性成果填补了国内圆度量值溯源体系空白，标志着我国在高精度圆度测量领域实现跨越式发展，整体技术能力跻身国际先进行列。将为我国航空航天、高端机床、先进光学、半导体制造等战略产业提供高可靠、高精度的量值溯源支撑，不仅完善了国家几何量计量体系，更以高精尖计量赋能制造强国、质量强国建设，为新一轮科技发展与产业变革注入强劲动能。

圆度是几何量形位公差体系中的核心基础参数之一，其测量精度直接决定精密主轴、先进光学元件及半导体芯片等高端制造领域的产品性能与装配质量。长期以来，我国虽已建立平面度等几何量计量基准，但圆度量值始终缺乏国家级溯源源头，成为制约高端装备自主可控和产业高质量发展的“卡脖子”难题。

此次建成的圆度基准装置，系统集成了多项自主创新技术，成功破解高准确度圆度评定、主轴误差分离、滤波一致性控制等国际性技术瓶颈。装置创新提出基于高准确度圆度滤波与全效数据利用的圆度计算模型，有效解决了标准半球分离后轮廓重构的稳定性难题；自主研发新型误差分离技术，大幅抑制主轴回转误差，将圆度测量不确定度从20纳米降至6纳米，测量能力达到国际先进水平；实现了高准确度圆度测量的若干核心关键技术自主可控，打破国外长期技术垄断，为全面国产化替代奠定了坚实的技术支撑。