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盈芯材料:让更多“中国芯”产自濮阳
来源:濮阳日报社    发布时间:2025-8-28 17:03:49    点击:246次    [关闭本页]

827日,南乐县先进制造业开发区内,盈芯(南乐)半导体材料有限公司(以下简称“盈芯材料”)的生产车间内,高精度设备阵列正有序运转——纯度在99.99%以上的高纯度甲烷经专用管道输入,历经沉积结晶工序后,一颗颗高品质大单晶金刚石顺利产出。

作为“工业牙齿”,金刚石是石墨的同素异形体,也是钻石原身,而河南更是全球金刚石产业的核心腹地。据盈芯材料相关负责人介绍,以往行业多采用高温高压物理工艺,通过石墨结构转化制备人造金刚石。如今,盈芯材料依托成熟MPCVD技术平台,走出了一条差异化技术路径——以高纯度甲烷为碳源,通过等离子技术剥离碳原子并沉积至晶种,最终转化为金刚石。相较于传统工艺,该技术优势显著。纯度更高:有效规避氮气、氧气等气体引入的晶格缺陷,提升结晶质量;效率更快:加速沉积过程,使金刚石生长速率提高20%~30%;尺寸更大:量产场景下单颗金刚石可达40克拉,同时实现5英寸(125mm)、6英寸(150mm)大面积多晶金刚石稳定生长,厚度达400微米。

更关键的是,该企业已攻克两大核心技术难关:一是实现不同热导率2英寸金刚石热沉片稳定批量化生长;二是解决650微米高厚度金刚石生长后脱硅“零翘曲”难题,为高端应用奠定了工艺基础。

人造金刚石具有高硬度、高热传导率、高化学稳定性等优异性能,在光学、声学、热学、力学、电学等领域应用潜力巨大。盈芯材料的技术突破,正是精准对接我国高端制造的“刚需”:其CVD金刚石材料可直接满足第三代半导体(GaNSiC)功率器件、高端激光巴条、微波射频模块等对“大面积、均质高效散热”的迫切需求,为晶圆级金刚石散热方案铺平道路,助力相关器件功率密度与可靠性显著提升。

从产业布局来看,盈芯材料定位“全球高端金刚石功能材料研发与制造基地”,并构建“设备制造—半导体材料—金刚石高端应用”全产业链,业务辐射半导体材料、量子技术、国防军工等国家战略领域,填补了国内高端金刚石功能材料规模化生产的部分空白。

目前,盈芯材料相关项目进展顺利,一期1号车间已正式点火投产,其余车间外部高低压配电设施全部完工,为后续产能释放做好了准备;915Hz72Kw大功率MPCVD设备将于9月底陆续进场,经调试后拟于10月中旬投产。该设备投产后,将成为国内首次应用于金刚石批量生产的大功率设备,推动生产效率与产品品质进一步提升。

据了解,盈芯材料相关项目全部建成达产后,将实现年产240万克拉大单晶金刚石、3.5万片热沉及光学窗口产品的产能规模,预计实现年产值31亿元、税收1.6亿元,并带动1200余人实现就业,不仅为濮阳先进制造业发展注入强劲动力,也为我国高端金刚石材料国产化替代提供坚实支撑。

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